ガスコントロール機器 タツオカでは、高純度ガスの供給だけでなく、配管・供給工事やそれに伴う、機器・設備も取り扱っています。 特殊ガスを扱うには、従来のガスコントロール機器では仕様が不十分なことがあります。適切な機器を使用して、初めて特殊ガスの利用が可能となります。また、特殊な用途／用法に対応する機器を各種そろえておりますので、ぜひお問い合わせください。 ・高純度ガス圧力調整器　・マスフロコントローラー　・マスフロメーター　・半自動ボンベ切替装置

高純度ガス圧力調整器

仕様出力範囲 MPa	入口側（P１）	0.5 MPa 〜 15 MPa
	出口側（P２）	0.3 MPa計：0.02 〜 0.2 1.0 MPa計：0.1 〜 0.6

マスフロコントローラー			マスフロメーター
	EC-400 シリーズ フルスケール: 5 sccm 〜 200 SLM			SEF-51/52 表示瞬時/ 積算流量 レンジ: 500 sccm 〜 50 SLM

半自動ボンベ切替装置 ・ガス供給を2系列に分けて、ガス供給中に片方のガスが空になると、もう片方の系列に自動で切り替わる装置です。 ・炭酸ガスなどは、別途ガス加温電熱ヒーターを内臓された物も用意しております。

 

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