ヘリウムリークディテクタ必須アイテム
ヘリウムリークディテクタは、通常大気中に存在しないヘリウムを検出する装置です。真空機器などの微小リークを探す場合、漏れが疑われる部分にヘリウムガスを吹き付けます。真空ポンプの排気にヘリウムガスが検出されれば、その近辺で、溶接、ガスケット、Oリングなど不良で気密が保たれていないことがわかります。

超小型ヘリウムボンベ
一般のヘリウムガスボンベは、比較的小型の4500Lという容器でも、長さ約１ｍ、直径約２０ｃｍ、重量約３０ｋｇもあります。狭い場所、高所や現場での作業では小回りがききません。そこで、ボンベのサイズ４５ｃｍ、直径１０ｃｍ、重量2.6ｋｇの小型ヘリウムボンベを使った「超小型ヘリウムスプレーガン」が威力を発揮します。

ヘリウムスプレーガン取扱説明書 (PDF 124 KB)

• 吹きつけの超微量調節が可能
• ノズルはフレキシブル
• 狭い場所、高い所での作業に最適

• 半導体関連装置
• スパッタリング装置
• 蒸着装置
• ロードロック
• 走査型電子顕微鏡
• 分析装置