ガス関連機器
クリスタル/コールドカソード　コンビネーションゲージ　CC-10

CC-10は、最新のセンサー技術を取り入れ、12桁の圧力範囲（1.0×10-7 [Pa] 〜 1.0×105 [Pa]）の連続測定を可能としたコンビネーションゲージです。

大気圧から1 [Pa]まではクリスタルゲージ、1 [Pa]から10-7 [Pa]まではコールドカソードゲージを使用し測定します。

センサー、回路部、ディスプレイ一体型により、本製品のみで圧力表示、セットポイントによるシステム制御が行えます。

また、CC-10はデジタル通信RS485を標準装備しております。

真空計

センサーの特徴
  • 大気圧から低真空領域のクリスタルゲージ部は、水晶振動子と気体分子の摩擦によるインピーダンスの変化を読み取ることにより、真空計測を行っています。精度・再現性に優れており、信頼性の高い計測が可能です。
  • 一方、高真空領域のコールドカソードゲージ部は、マグネトロン放電により残留ガスをイオン化し、圧力を測定します。センサーのボディーはＧＮＤで、陰極として使用しています。コールドカソードゲージはホットカソードゲージと異なり、フィラメントを持たず、丈夫で信頼性の高い計測が行えます。
 用途
  • 真空実験装置
  • 自動装置の真空制御
  • フィールドサービス用携行真空計
  • スパッタリング
  • 蒸着装置
  • セミコンアプリケーション
  • 走査型電子顕微鏡
  • 分析装置
真空計 CC-10 仕様
圧力測定範囲 1.0×10-7 [Pa] 〜 1.0×105 [Pa]
測定方法 大気圧〜1 [Pa]：クリスタルゲージ
1 [Pa]〜10-7 [Pa]：コールドカソードゲージ
センサーは圧力により自動切替
圧力表示 デジタル
信号出力 アナログ 0-10V
デジタル RS-485
セットポイント 3点
供給電源 DC 22-26V
寸法 97 x 70 x 160 mm
重量 700 g (NW25フランジ含む)

真空計、クリスタル/コールドカソード　コンビネーションゲージ


 

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